最大限度地提高生產(chǎn)率

65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機，可提供改進功能。

驅(qū)動器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非常快速、精細和準(zhǔn)確地控制鐘擺閥板的各個位置，從而在極短的響應(yīng)時間內(nèi)實現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門的預(yù)設(shè)運動序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù)，對速度和路線進行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過優(yōu)化的阻尼關(guān)閉運動可避免傳統(tǒng)閥門常見的沖擊和振動。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無礙，幾乎察覺不到關(guān)閉和打開。閥板提供非常精確的機械引導(dǎo)，可確保往復(fù)運動中的無接觸氣流控制，并在密封運動的所有區(qū)域內(nèi)實現(xiàn)均勻的密封。

65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其的可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。

65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接。可集成定制法蘭，也可作為直接安裝選項。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可根據(jù)要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽）。控制器上的各種標(biāo)準(zhǔn)端  口可通過個人計算機或連接到過程控制單 元 (PCU) 輕松訪問。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準(zhǔn) 65.3 控壓擺閥并簡化維護計劃