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瑞士VAT
瑞士VAT-12.1 - 閘閥/真空隔離標準 12.1 閘閥采用 VATLOCK 技術(shù),該技術(shù)旨在提供可靠的密封,同時不產(chǎn)生任何摩擦,從而可避免顆粒產(chǎn)生。
瑞士VAT-11.1 - 高真空閘閥 11.1 高真空閘閥采用 VATLOCK 技術(shù),該技術(shù)旨在提供可靠的密封,同時不會在閥板密封處產(chǎn)生任何摩擦。由于關(guān)閉端位置處的機械鎖定,VATLOCK 機構(gòu)還可以防止閥門故障。
瑞士VAT-15.1 - 高真空隔離閘閥 15.1 高真空隔離閘閥系列旨在用于需要低顆粒產(chǎn)生量和低沖擊敏感性的應(yīng)用。這些閥門可用于各種壓力水平(最高為超高真空 10-10 mbar)下的真空隔離。
瑞士VAT-79.3 - 超高真空射束阻擋器-嵌入型 79.3 系列為氣動驅(qū)動。射束阻擋器的標準烘烤溫度為最高 250℃,驅(qū)動器為最高 80℃(最高 200℃ 可選)。閥蓋為金屬密封,饋通件通過焊接金屬波紋管密封。
瑞士VAT-79.0 - 超高真空射束阻擋器 79.0 系列為氣動驅(qū)動。射束阻擋器的標準烘烤溫度為最高 250℃,驅(qū)動器為最高 80℃(最高 200℃ 可選)。閥蓋為金屬密封,饋通件通過焊接金屬波紋管密封。
瑞士VAT-77.3 - 超高真空快速關(guān)閉擋板 77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時具有快速的關(guān)閉反應(yīng),可保護真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于擋板直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級別。這為啟動全金屬閥門留了時間,全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭的,因此,77.3 系列為系統(tǒng)保護設(shè)定了標準。
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