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瑞士VAT
瑞士VAT-15.1 - 高真空隔離閘閥 15.1 高真空隔離閘閥系列旨在用于需要低顆粒產(chǎn)生量和低沖擊敏感性的應(yīng)用。這些閥門可用于各種壓力水平(最高為超高真空 10-10 mbar)下的真空隔離。
瑞士VAT-79.3 - 超高真空射束阻擋器-嵌入型 79.3 系列為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)。射束阻擋器的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 250℃,驅(qū)動(dòng)器為最高 80℃(最高 200℃ 可選)。閥蓋為金屬密封,饋通件通過焊接金屬波紋管密封。
瑞士VAT-79.0 - 超高真空射束阻擋器 79.0 系列為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)。射束阻擋器的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 250℃,驅(qū)動(dòng)器為最高 80℃(最高 200℃ 可選)。閥蓋為金屬密封,饋通件通過焊接金屬波紋管密封。
瑞士VAT-77.3 - 超高真空快速關(guān)閉擋板 77.3 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng),可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于擋板直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會(huì)幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級(jí)別。這為啟動(dòng)全金屬閥門留了時(shí)間,全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭的,因此,77.3 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
瑞士VAT-77.1 - 超高真空快速關(guān)閉擋板 77.1 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng),可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于擋板直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會(huì)幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級(jí)別。這為啟動(dòng)全金屬閥門留了時(shí)間,全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭的,因此,77.1 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
瑞士VA超高真空快速關(guān)閉閥75.0/75.2 對(duì)快速關(guān)閉閥的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因泄漏造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失(尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失),可能造成嚴(yán)重的污染問題并且需投入精力來恢復(fù)所需真空水平。
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