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瑞士VAT
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瑞士VAT真空擺閥 特殊類別的隔離控制閥,其中的真空門通過旋轉(zhuǎn)運(yùn)動移出開口截面。通過非常精細(xì)的傳導(dǎo)控制,是工藝室中下游壓力控制的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。特點(diǎn)是。設(shè)計緊湊,振動小,開啟和關(guān)閉平穩(wěn),避免了過程中的顆粒。
瑞士VAT閥3位置真空閥 功能介于隔離閥和控制閥之間。除了打開和關(guān)閉的位置外,這些閥門還有第三個確定的可調(diào)整的閥門位置。這個閘門位置通常被設(shè)計成 “光學(xué)關(guān)閉“,也可以實(shí)現(xiàn) “待機(jī) “功能,或在減少傳導(dǎo)的情況下實(shí)現(xiàn)更平滑的開啟,例如,避免壓力峰值。
瑞士VAT閥67.0 對稱控制閥 67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計,可用作下游控制和隔離閥。
瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥 65.3 高真空控壓擺閥 可優(yōu)化半導(dǎo)體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離
瑞士VAT閥真空傳輸閥 真空傳輸閥 長方形截面的閥門,用于連接真空室。特點(diǎn)是。在真空室或加工室加工的基材通過閥門移動。VAT為不同的客戶需求提供定制的解決方案。
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